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半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅。下面就跟隨小編一起來看看半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)吧！
一、有效稀釋有害氣體的濃度。
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。因此半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸時(shí)，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一 定程度與溫度時(shí)也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。
二、過濾、定期清洗真空泵及其他附件、管道，避免超壓。
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；如果是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化如果形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，第 一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。因此需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。
三、避免溫度過高。
這點(diǎn)很容易理解，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中，有害氣體較多，而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就更容易發(fā)生危險(xiǎn)。
四、注意氧氣濃度。
空氣中的氧如果濃度過高也會發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。因此一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止?jié)舛冗^高；如果是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時(shí)更換油品與油濾。
以上4個(gè)方面就是半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中zui主要的幾個(gè)安全事項(xiàng)。總的來說，油封式機(jī)械泵需要注意的安全細(xì)節(jié)比干式真空泵要更多，處置也更為復(fù)雜。
惠州市三力實(shí)業(yè)有限公司2004年5月成立，位于惠州市惠城區(qū)水口鎮(zhèn)龍湖區(qū)A-14-2，2013年9月搬至惠州市仲愷高新技術(shù)開發(fā)區(qū)惠南高新科技產(chǎn)業(yè)園三力集團(tuán)工業(yè)園，2014年6月成立全資子公司惠州德力普安全產(chǎn)品有限公司，同年10月收購惠州市奧羅拉工業(yè)有限公司。廠房占地面積4萬平方米，建筑面積6萬多平方米，員工500多人。擁有鈑金行業(yè)加工精度zui具競爭力的設(shè)備TRUMPE、AMADA轉(zhuǎn)塔數(shù)控沖床及鐳射近10臺、智能數(shù)控折彎機(jī)近20臺；機(jī)器人焊機(jī)、自動噴涂線、高速精密連續(xù)沖床，一體化產(chǎn)品組裝線等設(shè)備。擁有近50名工藝工程技術(shù)開發(fā)人員，通過了ISO9001、ISO14001、OHSAS18001、IATF16949涉及質(zhì)量、環(huán)保、健康、汽車等管理體系認(rèn)證，是一家專業(yè)承接產(chǎn)品設(shè)計(jì)、開發(fā)，精密鈑金加工、精密沖壓加工、產(chǎn)品組裝集成的國家高新技術(shù)企業(yè)。
產(chǎn)品包括： ATM，高鐵、地鐵自動售票機(jī)、閘機(jī)，半導(dǎo)體真空泵結(jié)構(gòu)件，半導(dǎo)體封裝設(shè)備結(jié)構(gòu)件，大屏幕顯示器結(jié)構(gòu)件、各類機(jī)箱機(jī)柜，歐式真火壁爐、精密鈑金件、精密沖壓件等。廣泛用于半導(dǎo)體、軌道交通、金融、軍工、通訊、家居、汽車、新能源電池等行業(yè)。
產(chǎn)品銷往國外及國內(nèi)知名企業(yè)，三力以精益求精的設(shè)計(jì)開發(fā)、制造技術(shù)和品質(zhì)管控；高效的信息、物控管理系統(tǒng)，為客戶提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)，提高客戶在市場上的競爭力。三力堅(jiān)持以誠信為本，形成獨(dú)特的具有中國文化底蘊(yùn)的經(jīng)營管理理念，追求優(yōu) 質(zhì)的品質(zhì)、迅捷的服務(wù)，愿與各行各業(yè)的精英攜手共創(chuàng)美好的明天！
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